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等離子清洗機(jī)是一款功能強(qiáng)大的桌面型真空等離子表面處理系統(tǒng)，專為高校科研、企業(yè)實(shí)驗(yàn)室及小批量精密生產(chǎn)場(chǎng)景而設(shè)計(jì)。設(shè)備采用304不銹鋼真空方艙結(jié)構(gòu)，有效處理面積達(dá)260×260mm。系統(tǒng)集成了高精度射頻電源、質(zhì)量流量計(jì)與全自動(dòng)觸摸屏操控模塊，具備等離子清洗、表面活化、刻蝕、疏水/親水改性等幾乎全功能的等離子體處理能力
技術(shù)參數(shù)：
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設(shè)備名稱 |
等離子清洗機(jī) |
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設(shè)備型號(hào) |
CY－PLM340 |
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腔體材質(zhì) |
304 不銹鋼，真空方形腔體（方艙） |
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腔體內(nèi)部尺寸 |
長(zhǎng) 340mm× 寬 340mm× 高 250mm |
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有效清洗區(qū)域 |
300mm×300mm |
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極限真空度 |
9×10?1Pa（標(biāo)配雙級(jí)旋片真空泵；可選配渦旋干泵） |
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真空泵參數(shù) |
抽氣速度 4L/s |
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真空系統(tǒng)組件 |
真空專用電磁角閥、充氣閥、不銹鋼真空波紋管、高精度數(shù)字式真空計(jì)、專用規(guī)管 |
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射頻電源 |
功率 0~300W，數(shù)顯連續(xù)可調(diào) |
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充氣系統(tǒng) |
高精度質(zhì)量流量計(jì)（MFC）一臺(tái)及排空閥一套 |
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控制系統(tǒng) |
PLC 核心 + 觸摸屏全自動(dòng)控制 |
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顯示功能 |
實(shí)時(shí)顯示真空度、功率、處理時(shí)間、工藝狀態(tài)等 |
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工作電壓 |
AC220V |
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