Name: 25Kg粉體磁控濺射鍍膜儀
Brand: 成越科儀
SKU: CY-MSH980-25KG

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產(chǎn)品名稱：25Kg粉體磁控濺射鍍膜儀
產(chǎn)品型號：CY-MSH980-25KG
產(chǎn)品廠商：成越科儀
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簡單介紹：

25Kg粉體磁控濺射鍍膜儀是大容量粉體顆粒專用真空 PVD 包覆設備，讓粉體顆粒持續(xù)翻動、無死角滾動，在每一顆粉體表面均勻沉積金屬、合金、陶瓷、氧化物納米薄膜

詳情介紹：

一、設備簡介

25Kg粉體磁控濺射鍍膜儀是大容量粉體顆粒專用真空 PVD 包覆設備，專為單次裝載 25kg 粉末物料設計，依托磁控濺射物**相沉積原理，配合腔體旋轉(zhuǎn)、粉體翻滾振動機構，讓粉體顆粒持續(xù)翻動、無死角滾動，在每一顆粉體表面均勻沉積金屬、合金、陶瓷、氧化物納米薄膜；全程高真空密閉環(huán)境，薄膜致密、厚度可控、包覆均勻無團聚，適配科研小批量中試、新材料改性制備場景，由鄭州成越科學儀器研發(fā)生產(chǎn)，兼顧實驗室研發(fā)與小批量試制需求。

二、主要用途

粉體顆粒表面包覆改性：微米 / 納米粉末外包覆導電層、抗氧化層、防腐層、絕緣層、催化層、**層；

解決粉體痛點：粉體易氧化、團聚、導電性差、分散性不佳、界面相容性弱等問題；

可制備單層膜、多層復合膜、合金共濺射薄膜；

粉體樣品 SEM 電鏡導電鍍金、鍍銀制樣；

新材料配方工藝摸索、小批量中試包覆生產(chǎn)。

三、應用領域

新能源材料：鋰電池正負極粉體、硅碳負極、石墨粉體包覆金屬 / 碳基薄膜；固態(tài)電解質(zhì)粉體改性、超級電容器電極粉體制備；

催化材料：催化劑粉末表面貴金屬（Pt、Ag、Au）包覆，提升催化活性與穩(wěn)定性；

粉末冶金 / 金屬粉體：鐵粉、鋁粉、合金粉抗氧化鍍層，提升粉體存儲與燒結性能；

生物醫(yī)藥：藥用粉體、羥基磷灰石粉體鍍銀**涂層，生物陶瓷粉體表面改性；

光電與傳感器：熒光粉、發(fā)光粉體、光學微球表面光學薄膜包覆；氣敏傳感粉體敏感層制備；

復合材料填料：二氧化硅、氧化鋁、碳化硅無機填料金屬化包覆，提升樹脂、橡膠界面結合力；

科研理化測試：各類粉末掃描電鏡（SEM）導電鍍膜制樣。

四、標準技術參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	25Kg 粉體磁控濺射鍍膜儀
產(chǎn)品型號	CY-MSH980-25KG
粉體承載腔體系統(tǒng)	腔體尺寸	φ980mm×H606mm，304 不銹鋼一體成型
	攪拌器旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速	0~200rpm 變頻連續(xù)可調(diào)
	控溫精度	±1℃
	結構配置	內(nèi)置攪拌打散條，防止粉體堆積包覆不均
	觀測部件	石英可視觀察窗
多弧等離子靶體配置	標配靶頭數(shù)量	8靶
	靶頭規(guī)格	圓柱形靶材：鎳靶材，φ100X40
	適配靶材	各類金屬、合金、陶瓷、氧化物靶材
	標配電源	8臺多弧電源
	冷卻方式	風冷
真空機組系統(tǒng)	極限真空度	≤5×10?? Pa
	多弧工作氣壓	DC：0.1~0.5Pa；RF：
	抽氣組合	2000L/s 渦輪分子泵 + 無油前級真空泵
	整機靜態(tài)漏率	＜1×10?? Pa·m3/s
氣路供氣系統(tǒng)	基礎工作氣體	高純氬氣
	可選反應氣體	氧氣、氮氣
	氣體控制	高精度質(zhì)量流量控制器，量程 0~500sccm
整機測控系統(tǒng)	操控方式	PLC+10 英寸觸摸屏全自動程控
	工藝存儲	可存儲上30套鍍膜工藝配方
	選配配件	石英晶體膜厚儀，膜厚分辨率 0.1?
	**防護	缺水、過壓、過流、真空聯(lián)鎖全套報警保護
整機基礎參數(shù)	輸入供電	AC380V/50Hz
	整機額定功率	25KW
	設備外形尺寸	1955mm×1650mm×1660mm
	整機凈重	1700Kg

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